Kadar je dolžina v eni smeri manjša od dolžine v drugih dveh smereh, se ta struktura imenuje tanek film. Dandanes stalna uporaba mikroelektronskih filmov, optičnih filmov, anti-oksidacijskih filmov, velikanskih magnetorezivnih filmov, visoko-temperaturnih superprevodnih filmov itd. v industrijski proizvodnji in človeškem življenju je debelina filmov, proizvedenih v industriji, zelo pomemben parameter, neposredno povezan s tem, ali lahko filmski material normalno deluje.
Običajno se debelina filma nanaša na razdaljo med površino substrata in površino filma. Dejansko je površina filma neenakomerna in prekinjena, na površini pa so adsorbirane luknje, mikro razpoke, filamenti vlaken, nečistoče, defekti mreže in molekule. Na primer, različni tanki filmi v proizvodnem procesu velikih -integriranih vezij bodo neposredno vplivali na delovanje integriranih vezij zaradi nenehnega izboljševanja stopnje integracije vezja in kakršnih koli majhnih sprememb v debelini tankega filma. Poleg tega so mehanske lastnosti, lastnosti prepustnosti svetlobe, magnetne lastnosti, toplotna prevodnost, površinska struktura itd. tankoslojnih materialov tesno povezane z debelino. Zato je natančno spletno merjenje debeline filma v proizvodnem procesu pomembno sredstvo za zagotavljanje kakovosti izdelkov in izboljšanje učinkovitosti proizvodnje.
Za natančno merjenje debeline filma je odvisno, kakšen senzor debeline se uporablja. Trenutno obstaja predvsem več metod za spletno tehnologijo zaznavanja debeline filma:
1. Beta sonda je najzgodnejši senzor, ki se uporablja za detekcijo tankega filma. Kot vir signala uporablja vir sevanja beta, tehnologija pa je zrela. Za uporabo radioaktivnih virov pa je potrebno dovoljenje, uvozni in izvozni postopki pa so relativno zapleteni. Obstaja polovična-omejitev življenjske dobe in natančnost zaznavanja se bo zmanjšala z atenuacijo radioaktivnega vira.
2. Infrardeče sonde za merjenje debeline filma uporabljajo načelo, da se določeni infrardeči pasovi močno absorbirajo v specifičnih plastičnih folijah. Senzor je stabilen pri zaznavanju in nanj ne vplivajo spremembe okolja, je pa občutljiv na spremembe aditivov in barv ter ni primeren za proizvodnjo več izdelkov na isti proizvodni liniji.
3. Rentgenska-sonda uporablja rentgensko-cev za ustvarjanje rentgenskih-žarkov kot vir signala za zaznavanje debeline plastične folije. Obstaja veliko prednosti: leteči radioaktivni materiali; nizka energija ne zahteva licence; široko merilno območje; visoka merilna natančnost; vse vrste plastike je mogoče izmeriti, ne da bi nanje vplivali dodatki in barvna masterbatch.
Trenutno se je instrument za merjenje debeline filma razvil do visoke natančnosti in avtomatizacije ter dosegel zelo visoko raven. Njegova merilna natančnost je ±2 % do ±5 % izmerjene debeline filma za splošno plast filma in ±2 nm za tanek film ter ima funkcijo merjenja mikro površin, hitro merjenje hitrosti in visoko stopnjo avtomatizacije. Zlasti z napredkom tehnologije in uporabo natančnih instrumentov je poleg zgornjih metod tehnologije zaznavanja mogoče debelino filma izmeriti tudi z ultrazvočnim senzorjem. Ultrazvočni senzor MaxBotix, ki ga priporoča Gongcai-MB7480, je visoko zmogljiv Ultrazvočni natančni merilnik razdalje lahko zagotovi visoko natančno in visoko ločljivo ultrazvočno merjenje razdalje v zraku.
